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單晶爐多晶爐用干式螺桿真空泵

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加拿大28走势图-加拿大28稳赚计划-pc加拿大28在线预测网站功  率:2+4.5kw

抽氣速率:630/756

加拿大28走势图-加拿大28稳赚计划-pc加拿大28在线预测网站壓  力:極限真空0.1pa

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單晶爐與多晶爐用干式螺桿真空泵的特點:

·無油氣污染真空系統,可獲得清潔真空
·配置單晶硅與多晶爐專用過濾器,減少硅粉吸入真空泵
·被抽氣體不會被污染,尾氣可進行回收利用
·無油氣和油煙等有害氣體的排放,環境污染小
·避免了因泵腔內潤滑油乳化、變質而出現的運行故障,提高了系統的穩定性,同時減少了泵潤滑油的損耗
·泵可單獨使用,或者與羅茨泵、分子泵等組合成無油真空機組,作為機組的前級泵使用。單泵進氣壓力在 1Pa 至大氣
 壓均能正常工作,抽氣效率高,可大大簡化抽真空系統
·泵腔內各相對運動零件之間采用間隙密封,零件間無接觸摩擦存在,零件損耗小,使用壽命長
·泵腔內采用間隙密封,對少量小顆粒粉塵不敏感
·整機體積小,減少占地面積
·消耗功率更低,節能效果好
·運行噪聲低

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